高低溫真空探針臺

簡要描述：高低溫真空探針臺系統(tǒng)主要用于為被測芯片提供一個低溫或者高溫的變溫測量環(huán)境，以便測量分析溫度變化時芯片性能參數(shù)的變化。腔體內被測芯片在真空環(huán)境中有效避免易受氧化半導體器件因接觸空氣所帶來的測試結果誤差，是材料學、芯片、半導體器件等方向實驗分析的理想選擇。

產(chǎn)品型號：LVTS
廠商性質：生產(chǎn)廠家
更新時間：2024-06-12
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產(chǎn)品介紹
高低溫真空探針臺系統(tǒng)主要用于為被測芯片提供一個低溫或者高溫的變溫測量環(huán)境，以便測量分析溫度變化時芯片性能參數(shù)的變化。腔體內被測芯片在真空環(huán)境中有效避免易受氧化半導體器件因接觸空氣所帶來的測試結果誤差，是材料學、芯片、半導體器件等方向實驗分析的理想選擇。

技術優(yōu)勢

· 控溫范圍可達-142℃-600℃（如300℃以上需另配水冷系統(tǒng)）；

· 控溫精度可達±1℃，顯示精度1℃，溫度均勻性±3℃;

· 極限真空度優(yōu)于2Pa@機械泵，極限真空度優(yōu)于3*10^(-3)Pa@分子泵組；

· 探針位移重復定位精度2μm，分辨率3μm，單軸直線度±2μm；

· 三同軸探針夾具，漏電精度100fA，陶瓷結構;

· 樣品臺多個尺寸可選，常規(guī)有4/6/8/12英寸。

通用參數(shù)

高低溫真空探針臺