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2024年05月17日-19日,智能材料與光電子器件研討會擬在浙江寧波舉行。本次大會專注“智能材料與光電子器件"的前沿領(lǐng)域,大會主題包括但不限于光電子集成與器件、半導(dǎo)體技術(shù)與器件、納米工藝與器件、智能傳感器件、神經(jīng)形態(tài)器件。同時,本次大會得成功舉辦擬為學(xué)術(shù)界和產(chǎn)業(yè)界提供更多了解智能材料與光電子器件領(lǐng)域前沿的機會。
TLRH系列精密型基礎(chǔ)測試探針臺具有較高的位移調(diào)節(jié)精度及優(yōu)異的漏電精度控制,適用于半導(dǎo)體材料光電檢測、功率器件測試、MEMS測試、PCB測試、液晶面板測試、測量表面電阻率測試等。
3μm探針位移調(diào)節(jié)精度
滿足1μm以上電極/PAD使用
漏電精度可達10pA/100fA(屏蔽箱內(nèi))
模塊化設(shè)計,可以搭配不同構(gòu)件完成不同測試
基于TLRH系列升級激光顯微鏡而來,實現(xiàn)高分辨率成像的同時兼顧外引激光光路,實現(xiàn)光電流與IV的雙功能檢測
3μm探針位移調(diào)節(jié)精度
激光顯微鏡,5檔物鏡轉(zhuǎn)盤,可引入激光完成光電流測試
漏電精度可達10pA/100fA(屏蔽箱內(nèi))
模塊化設(shè)計,可以搭配不同構(gòu)件完成不同測試
高低溫真空探針臺系統(tǒng)主要用于為被測芯片提供一個低溫或者高溫的變溫測量環(huán)境,以便測量分析溫度變化時芯片性能參數(shù)的變化。
控溫范圍可達-142℃-600℃(如300℃以上需另配水冷系統(tǒng))
控溫精度可達±1℃,顯示精度1℃,溫度均勻性±3℃
極限真空度優(yōu)于2Pa@機械泵,極限真空度優(yōu)于3*10^(-3)Pa@分子泵組
探針位移重復(fù)定位精度2μm,分辨率3μm,單軸直線度±2μm
多種夾具類型,多種精度探針座
多種類型探針
電磁屏蔽箱
電學(xué)測試夾具
LMT-B系列低維材料轉(zhuǎn)移系統(tǒng)適用于石墨烯、硫化鉬、黑磷等單層材料精確定點轉(zhuǎn)移,以及多層范德華異質(zhì)結(jié)的制備,實現(xiàn)了低維材料轉(zhuǎn)移的可視化操作。
集成化設(shè)計,易操作
高位移精度,無回程差設(shè)計
精確控溫模塊,適用多種材料
高質(zhì)量成像,實現(xiàn)微米級尺度轉(zhuǎn)移