射頻探針臺是一種高精度的設(shè)備，主要用于對芯片進行科研分析、抽查測試等用途。它的應(yīng)用主要是使用探針直接測量晶圓或裸芯片的微波射頻參數(shù)。通過使用射頻探針，我們能夠在晶片層面上準確測量射頻組件的特性，從而縮短研發(fā)時間，降低新產(chǎn)品開發(fā)成本。探針臺可以將電探針、光學探針或射頻探針放置在硅晶片上，從而可以與測試儀器/半導體測試系統(tǒng)配合來測試芯片/半導體器件。這些測試可以很簡單，例如連續(xù)性或隔離檢查，也可以很復雜，包括微電路的完整功能測試?？梢栽趯⒕A鋸成單個管芯之前或之后進行測試。在晶圓級別的測試允許制造商在生產(chǎn)過程中多次測試芯片器件，這可以提供有關(guān)哪些工藝步驟將缺陷引入最終產(chǎn)品的信息。