半導(dǎo)體晶圓測試探針臺的細(xì)節(jié)介紹

更新時間：2024-03-28 點擊次數(shù)：431

半導(dǎo)體晶圓測試探針臺集成度高，功能實用，性價比的模塊化探針臺，該探針臺系統(tǒng)包括顯微成像模塊、四維調(diào)整載物臺、真空吸附系統(tǒng)、探針座、探針臺體等。多用于晶圓測試、LED測試、功率器件測試、MEMS測試、PCB測試、液晶面板測試、太陽能電池片測試、材料電阻率測試以及用于搭建材料電學(xué)測試系統(tǒng)、光電探測器光電響應(yīng)系統(tǒng)、光電Mapping測試系統(tǒng)等。

應(yīng)用領(lǐng)域：

半導(dǎo)體材料光電檢測、功率器件測試、MEMS測試、PCB測試、液晶面板測試、測量表面電阻率測試、精密儀器生產(chǎn)檢測、航空航天實驗等。

細(xì)節(jié)介紹：

1.顯微鏡位移裝置：

集成高精度高穩(wěn)定性手動位移臺

XYZ行程50mm，精度1um

整體交叉滾珠導(dǎo)軌，高精度，高穩(wěn)定性

整體材質(zhì)航空鋁合金

2.顯微成像系統(tǒng)

可用于硅封裝的內(nèi)部觀測和光譜特性分析，需要紅外光源和紅外攝像機(jī)

選用2X、5X、10X、20X、50X四種物鏡，工作距離分別是34.6mm，45mm，34mm，30.8mm，20.5mm，鼻輪支架帶五孔鼻輪

3.探針臺臺體：